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Japan Cell提供高精度的蜂眼透镜(积分透镜、排列透镜)可用于液晶平板、半导体领域的曝光装置中

所属类别:光学器件 ? 微透镜阵列/透镜阵列

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姓名:?#28966;?Bland)

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Japan Cell提供高精度的蜂眼透镜(积分透镜、排列透镜)可应用于液晶平板、半导体领域的曝光装置中。


关键词:光学胶合、光胶、积分透镜、单片透镜胶合的排列透镜,Flyeye lens, Integrator Lenses, Drum Lenses

 

Japan Cell利用独自开发的『不使用任何胶合剂的分子键合的光胶技术』生产光胶 石英玻璃产品以及使用低熔点玻璃粉胶合技术生产蜂眼透镜等高精度产品。


本公司拥有从单镜片的?#24515;ィ?#36879;镜的胶合,镜片的镀膜等系列连贯加工的能力。 镜片的胶合,可以选择有机胶合剂的胶合工艺以及不使用任何胶合剂光胶工艺。

对于曝光装置以及投影仪的光学?#20302;常?#20351;用蜂眼透镜可以消除光照强度的不均匀性,其均匀性可以扩展到光学?#20302;?#30340;整个有效领域。该技术可以有效应用于液晶平板、半导体领域的曝光装置中。


1.蜂眼透镜 (曝光仪等中的积分透镜)

Japan Cell的蜂眼透镜是从单个镜片胶合制作。用FPD大型曝光装置等印刷线路板曝光装置、为了测光量均质化的排列透镜




<加工技术能力>

R=?#20945;?#22270;纸要求执行

A,B=20mm~400mm

C, D =6.0mm~60mm

R面的精度=光圈5 根~10 根

偏芯=5分以内

可以胶合数量 =4~72片

材质=石英

两面镀单层AR膜(365±10nm)


2.蜂眼透镜(鼓形胶合透镜的胶合构成)

利用在曝光装置及检查机照明系。测光量均质化的排列透镜。单镜以及排列透镜的加工方法技术根据洽商制造




<加工技术能力>

R=?#20945;?#22270;纸要求执行

A,B=0.7mm~20mm

L =20mm~70mm

R面的精度=光圈5 根以内

偏芯=5分以内

材质=石英,BK7材料

两面镀单层AR膜(365±10nm)



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